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真空分子泵

真空分子泵

轴承在高真空或超真空环境中运行面对许多挑战,其对于实现涡轮分子泵和高速干泵所要求的高速性和可靠性至关重要。
在最高1×10-10 mbar的压力范围内工作,极少的润滑,可能超过500˚C的高温(932˚F),轴承必须确保性能,可靠性和长寿命。 BARDEN轴承经过精心设计,确保每处每次都能实现这一目标。


BARDEN真空泵轴承提供:
用高性能材料制造,以确保与高温环境和高速运行兼容。
陶瓷(氮化硅)球可显著提高速度,并减少磨损。
漏气率低的材料。
各种镀层(包括金,银和MoS2)用作干润滑。
直接润滑设计。
超精加工表面和优化的表面结构。
少维护和长寿命的属性。
所有轴承可加防尘盖和密封圈,以防止污染物进入并保持润滑。
ABEC 7/9(ISO P4 / P2)最高精度的公差标准。
典型的真空泵应用包括:
半导体生产
太空环境设备
医疗设备
化学分析仪器
氦气检漏仪